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制藥網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>儀器儀表>其它儀器儀表>其它儀器儀表> 堆疊式多軸系統(tǒng)（Stacked System）

  • 堆疊式多軸系統(tǒng)（Stacked System）
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2025/3/30 8:19:20

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產(chǎn)品簡介

該系列產(chǎn)品包含堆疊式XYZ Stage、堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

堆疊式多軸系統(tǒng)（Stacked System）詳細(xì)信息

類別 描述

堆疊式XYZ Stage

平臺特性
  • 堆疊式3 軸平臺，正交性設(shè)計
  • 全局平面度、直線度達(dá)微米級
X/Y 軸
  • 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導(dǎo)軌
  • 無線纜擾動力設(shè)計
Z 軸
  • 垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實現(xiàn)定位精度
  • 高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計
  • 垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
  • 超薄型、輕量化設(shè)計
  • 垂向可支持25mm 行程
  • 支持轉(zhuǎn)速240rpm
控制系統(tǒng)
  • ACS 8 軸驅(qū)動器，支持PEG、STO 等功能
  • ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ 系統(tǒng)，采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZ-10Stage 標(biāo)準(zhǔn)模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZ-10 Stage 標(biāo)準(zhǔn)模組采用了大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，具有降低垂向電機(jī)的載荷，極大地提高了垂向運動性能和壽命的功能。可實現(xiàn)高精度上下方向定位的升降。十字平臺Cross XY Stage模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。

堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）

平臺特性
  • 堆疊式4 軸平臺，正交性設(shè)計
  • 全局平面度、直線度達(dá)微米級
X/Y 軸
  • 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導(dǎo)軌
  • 無線纜擾動力設(shè)計
Z 軸
  • 垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實現(xiàn)定位精度
  • 高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計
  • 垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
  • 超薄型、輕量化設(shè)計
  • 垂向可支持24mm 行程
Rz 軸
  • 360 旋轉(zhuǎn)，無管路纏繞，支持12’、8’晶圓真空吸附
  • 支持±0.7mm 翹曲晶圓
  • 支持轉(zhuǎn)速240rpm
控制系統(tǒng)
  • ACS 8 軸驅(qū)動器，支持PEG、STO 等功能
  • ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ 臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZT-24-CRGStage 標(biāo)準(zhǔn)模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZT-24-CRG Stage 采用旋轉(zhuǎn)運動平臺和垂向運動創(chuàng)新性的在軸向進(jìn)行耦合的設(shè)計思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運動無限制旋轉(zhuǎn)。十字平臺Cross XY Stage 模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。

堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

平臺特性
  • 堆疊式7 軸平臺，正交性設(shè)計
  • 全局平面度、直線度達(dá)微米級
X/Y 軸
  • 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導(dǎo)軌
  • 無線纜擾動力設(shè)計
Z3T 軸
垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實現(xiàn)定位精度
  • 柔性導(dǎo)向設(shè)計
  • 垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
  • 超薄型、輕量化設(shè)計
  • 支持轉(zhuǎn)速240rpm
  • 超過±0.2°的搖擺和傾斜修正
控制系統(tǒng)
  • ACS 8 軸驅(qū)動器，支持PEG、STO 等功能
  • ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ3T 臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等的理念，將MZ3T標(biāo)準(zhǔn)模組集成在XYY 堆疊式水平運動模組之上，能實現(xiàn)X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 軸6 自由度的高精度、高剛度運動。其中MZ3T 標(biāo)準(zhǔn)模組采用緊湊設(shè)計技術(shù)，集成了Z、Rx、Ry 和Rz 軸，具有擁有優(yōu)異的定位精度、平面度、直線度、剛性和重復(fù)性精度的功能。垂向采用了的磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，降低了垂向音圈電機(jī)的載荷，極大地提高了垂向運動性能和壽命。XYY 堆疊式水平運動模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。特別適用于特定大型面板/基體上的倒晶封裝。
關(guān)鍵詞：控制器

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