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產(chǎn)品簡介
該系列產(chǎn)品包含扁平ZT 臺（MZT-10 Stage）、大行程ZT 臺（MZT-25 Stage）、高性能ZT 臺（MZT-24-CRG Stage）
磁懸浮垂向與旋轉(zhuǎn)臺詳細信息
| 類別 | 描述 |
| 扁平ZT 臺（MZT-10 Stage） | 平臺特性
平臺概要 扁平ZT 臺采用旋轉(zhuǎn)運動平臺和創(chuàng)新性垂向運動在軸向進行耦合的設計思想，具有極為緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運動無限制旋轉(zhuǎn)，和MZT-25 Stage 相比，成本更低?？蓮V泛應用于晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查等。 |
| 大行程ZT 臺（MZT-25 Stage） | 平臺特性
平臺概要 大行程ZT 臺采用旋轉(zhuǎn)運動平臺和垂向運動創(chuàng)新性的在軸向進行耦合的設計思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運動無限制旋轉(zhuǎn)。和MZT-10 Stage 相比，垂向剛度更高，負載和抗偏心能力更大?？蓮V泛應用于晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查等。 |
| 高性能ZT 臺（MZT-24-CRG Stage） | 平臺特性
平臺概要 高性能ZT 臺采用旋轉(zhuǎn)運動平臺和垂向運動創(chuàng)新性的在軸向進行耦合的設計思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運動無限制旋轉(zhuǎn)。和MZT-24 Stage 相比，垂向性能更高?？蓮V泛應用于晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查等。 |
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