產(chǎn)品簡介
| 類別 | 描述 |
| 平面集成式XY 臺（Planar-Series XY Stage） | 平臺特性
平臺概要 平面集成式XY 臺采用了XY 一體化、正交性設(shè)計理念，具有超薄的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對準(zhǔn)、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。 |
| 平面中空式XY 臺（Planar-Series XY Stage） | 平臺特性
平臺概要 平面中空式XY 臺采用了XY 一體化、正交性設(shè)計思想，具有超薄的輪廓尺寸和大中空的通孔尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對準(zhǔn)、生物醫(yī)藥等，特別適用于雙面加工或者基因檢測等領(lǐng)域。 |
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