平臺特性 集成式3 軸平臺，正交性設(shè)計(jì) 全局平面度、直線度達(dá)微米級X 軸 高剛度防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌 無線纜擾動力設(shè)計(jì)Z 軸 垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實(shí)現(xiàn)定位精度 高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計(jì) 垂向增量光柵，可實(shí)現(xiàn)5 納米分辨率 超薄型、輕量化設(shè)計(jì) 垂向可支持30mm 行程Rz 軸 360 旋轉(zhuǎn)，無管路纏繞，支持12’、8’晶圓真空吸附 支持±0.7mm 翹曲晶圓 支持轉(zhuǎn)速......

平臺概要

磁浮多軸運(yùn)動臺采用超薄型、正交性設(shè)計(jì)理念。能實(shí)現(xiàn)X、Z 和Rz 軸3 自由度的高精度、高剛度直線和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。其中垂向采用了的大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，降低垂向電機(jī)的載荷，極大的提高垂向運(yùn)動性能和壽命的功能?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。

技術(shù)參數(shù)

定制信息
磁浮多軸運(yùn)動臺可選項(xiàng)：在Maglev Multi-axis Stage 產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、高精度標(biāo)定、控制系統(tǒng)等選項(xiàng)。

編碼器選項(xiàng)
-E1 增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp
-E2 增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，TTL
-E3 式光學(xué)式線性編碼器，BISS

高精度標(biāo)定選項(xiàng)

-PLUS 高精標(biāo)定：產(chǎn)品生產(chǎn)結(jié)束，出廠前對平臺進(jìn)行干涉儀標(biāo)定

控制系統(tǒng)選項(xiàng)

-PEG ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持PEG 等功能
-STO ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持STO 等功能
-VCL ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持自動對焦等功能