| 參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品簡介
| 類別 | 描述 |
| 雙Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)（Z3T-Dz Stage） | 平臺(tái)特性
平臺(tái)概要 雙Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)擁有4 個(gè)自由度，提供364°的旋轉(zhuǎn)角，雙Z 軸，其中一個(gè)用于圓晶裝件與卸件的粗大調(diào)整，一個(gè)用于調(diào)焦的精密調(diào)整，以及±0.2°以上的tip 和tilt 修正。該Z3T-Dz 模塊為運(yùn)動(dòng)提供更優(yōu)的跟隨誤差控制性能，其重復(fù)精度、運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間性能均支持更大行程運(yùn)動(dòng)。Z3T-Dz 模塊主要用于前道應(yīng)用，優(yōu)先于光刻后段和圓晶生產(chǎn)控制。 |
| 單Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)（Z3T-Sz Stage） | 平臺(tái)特性
平臺(tái)概要 單Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)擁有四個(gè)各自獨(dú)立的自由度，包括一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸、一個(gè)垂直軸和兩個(gè)搖擺和傾斜修正軸。該Z3T-Sz 模塊結(jié)構(gòu)極為緊湊，且具備優(yōu)異的定位精度和動(dòng)態(tài)特性，滿足半導(dǎo)體晶圓制造和檢測過程中對(duì)晶圓載臺(tái)運(yùn)動(dòng)性能的特殊需求。Z3T-Sz 的出現(xiàn)不僅為用戶提高運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)精度，簡化設(shè)計(jì)難度，還能顯著提升設(shè)備的可靠性和集成度，降低設(shè)備的復(fù)雜性和總體成本，提高性價(jià)比。 |
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移動(dòng)站：多軸微動(dòng)臺(tái)（MZ3T Stage）
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