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詳細介紹
詳情介紹：
本設備為桌面型行星式單靶磁控鍍膜儀，腔體下半部為不銹鋼機構(gòu)，上部為高純石英，兼顧了真空性能和容納復雜樣品臺的功能型。設備外形為桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源，可用于金屬及其他導電材料的濺射。設備真空系統(tǒng)采用渦輪分子泵組，抽氣速度快，極限真空度高，真空性能優(yōu)異。本設備結(jié)構(gòu)緊湊功能*便于使用，非常適合用于各類鍍膜試驗。
行星式單靶磁控鍍膜儀技術參數(shù)：
| CY-MSP180G-PST（Planetary sample table）行星式單靶磁控鍍膜儀 | ||||
| 樣品臺 | 尺寸 | φ50mm x4 | 轉(zhuǎn)速 | 公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速0-10rpm可調(diào), 公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速比1:5 |
| 磁控濺射靶 | 數(shù)量 | 2" x1 |
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| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 100mm | 觀察窗口 | 全向可視 |
| 腔體材料 | 高純石英 | 開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
| 下法蘭 | 含有行星式傳動機構(gòu)，焊接真空接口及進氣閥 | |||
| 真空系統(tǒng) | 機械泵 | 雙級旋片泵 | 抽氣接口 | KF16 |
| 分子泵 | 渦輪分子泵 | 抽氣接口 | KF40 | |
| 真空測量 | 電阻規(guī)+電離規(guī) | 排氣接口 | KF40 | |
| 極限真空 | 1.0E-3Pa | 供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽氣速率 | 前級泵 1.1L/s 分子泵：60L/S | |||
| 電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源 x1 | *大輸出功率 | 直流電源300W |
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其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機尺寸 | 500mm X 320mm X6200mm |
| 整機功率 | 2kW |
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