桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）

樣品臺

尺寸

φ100mm

轉(zhuǎn)速

0-20可調(diào)

加熱

*高500℃

磁控濺射靶

數(shù)量

2" x1

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 215mm 

腔體材料

高純石英

觀察窗口

全向透明

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣接口

KF16

排氣接口

KF16

分子泵

渦輪分子泵

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF40

真空測量

電阻規(guī)+電離規(guī)

極限真空

1.0E-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

機(jī)械泵1.1L/s  分子泵600L/s

電源配置

數(shù)量

直流電源 x1

*大輸出功率

直流電源500W

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X500mm