電源電壓

l 交流220v，60Hz

UPS

l 20KVA 16KW，延遲1小時(shí)

l 16節(jié)電池，容量38AH

真空室

l 尺寸：直徑 325毫米*高385毫米

l 材質(zhì)：304不銹鋼

l 視口（窗口）：約4英寸（100毫米），帶快門

樣品臺(tái)

l 頂部樣品架

l 樣品表：直徑 150毫米

l 樣本數(shù)量：*大 直徑4英寸

l 轉(zhuǎn)速：0-40rpm可調(diào)

l 加熱溫度：*高700oC

l 

水冷裝置

l 水流量：2.3m3 / h

l 電源：3P

l 制冷量：8250Kcal / h

l 壓縮機(jī)輸出功率：2.25KW

磁控濺射槍

l 3×2''磁控濺射槍，帶自動(dòng)快門

l 向上濺射方向

l 目標(biāo)直徑：2英寸

l 磁鐵：稀土磁鐵

射頻發(fā)生器

l l3×RF 300W自動(dòng)匹配電源

l l功率輸出范圍：5W?300W

l l*大反射功率：100W

l l電源穩(wěn)定性：±0.1％

l l諧波成分：≤-50dbc

l l電源：?jiǎn)蜗?span>187-253 VAC，50 / 60HZ

l 效率：≥70％

l l功率因數(shù)：≥90％

l l反射功率（*大功率）：<3W

l l*大負(fù)載電流：30ARMS

l l*大負(fù)載電壓：7500VRMS

l 射頻輸出接口：50Ω，L29或定制

l 比賽時(shí)間：1?3s

l l匹配阻抗的實(shí)部范圍：0?80Ω

l l匹配阻抗的虛部范圍：﹣200j?﹢ 200j

l l冷卻方式：強(qiáng)制冷卻

質(zhì)量流量計(jì)

l l3×MFC質(zhì)量流量控制（Ar，O2和N2）

l l測(cè)量范圍：*大20sccm

l 帶氣動(dòng)隔離閥和過(guò)濾器。

通過(guò)PC或PLC全自動(dòng)控制

l 儲(chǔ)存至少100個(gè)配方

l 19''平板控制器