往復(fù)樣品臺

尺寸

50*100mm

往復(fù)速度

0~50mm/s

磁控靶槍

靶材平面

圓形平面靶

濺射真空

10Pa～0.2Pa

靶材直徑

2 英寸

靶材厚度

建議2～5mm

靶頭溫度

≦65℃

真空腔體

腔體尺寸

約為Φ180mm × H 215mm

腔體材料

高純石英

觀察窗口

全向透明

開啟方式

頂蓋拆卸式

電源

直流電源功率

*大150W

數(shù)量

1

分子泵系統(tǒng)

前級泵

旋片泵

VRD-4

抽速

1.1L/S

極限真空

5*10^-1Pa

分子泵

分子泵抽速

600L/S

額定轉(zhuǎn)速

24000rpm

極限真空

5*10^-5Pa

振動值

≦0.1um

啟動時間

≦4.5min

停機時間

<7min

冷卻方式

水冷+風冷

水冷機

冷卻水溫度

≦37℃

冷卻水流速

10L/min

供電電壓

AC220V 50Hz