項目

明細

供電電壓

AC220V，50Hz

整機功率

3KW

極限真空度

10^-6torr

載樣臺參數(shù)

尺寸

φ140mm

加熱溫度

*高500℃

控溫精度

±1℃

轉(zhuǎn)速

1-20rpm可調(diào)

磁控濺射頭參數(shù)

數(shù)量

2個2"磁控濺射頭

冷卻方式

水冷，所需流速10L/min

水冷機規(guī)格

10L/min流速的循環(huán)水冷機

真空腔體

腔體尺寸

φ300mm X 300mm H

腔體材料

不銹鋼

觀察窗口

φ100mm

開啟方式

上頂開式，便于更換靶材

氣體流量控制器

2路分別通Ar，N2；

量程均為0-100sccm

真空泵

配有一套分子泵系統(tǒng)，抽速600L/S

膜厚儀

石英振動薄膜測厚儀一臺，分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源一臺，1000W，適用于制備金屬膜

射頻電源一臺，500W，適用于非金屬鍍膜

操作方式

面板按鈕操作

整機尺寸

1400mm X 750mm X 1300mm

整機重量

300kg