項(xiàng)目

明細(xì)

供電電壓

AC220V，50Hz

整機(jī)功率

3KW

極限真空度

10^-6torr

載樣臺(tái)參數(shù)

尺寸

φ140mm

加熱溫度

*高500℃

控溫精度

±1℃

轉(zhuǎn)速

1-20rpm可調(diào)

磁控濺射頭參數(shù)

數(shù)量

2個(gè)2"磁控濺射頭

冷卻方式

水冷，所需流速10L/min

水冷機(jī)規(guī)格

16L/min流速的循環(huán)水冷機(jī)

真空腔體

腔體尺寸

φ300mm X 300mm H

腔體材料

不銹鋼

觀察窗口

φ100mm

開(kāi)啟方式

上頂開(kāi)式，便于更換靶材

氣體流量控制器

4路分別通N₂，Ar，O₂，空氣；

量程均為0-500sccm

真空泵

配有一套分子泵系統(tǒng)，抽速600L/S

膜厚儀

石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀一臺(tái)，分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源一臺(tái)，500W，適用于制備金屬膜

射頻電源一臺(tái)，300W，適用于非金屬鍍膜

操作方式

面板按鈕操作

整機(jī)尺寸

1400mm X 750mm X 1300mm

整機(jī)重量

300kg