輸入功率

• 220 VAC, 50/60Hz, 單相
• 800 W  (包括泵)
• 如果電壓為110 VAC, 則需要1000 W 變壓器

電源

一個(gè)13.5 MHz, 300 W 具有自動匹配功能的射頻發(fā)生器內(nèi)置于機(jī)柜中并連接到 2" 濺射頭

磁控濺射頭

• 包括一個(gè)帶有水冷套的2"磁控濺射頭，并通過快速夾具插入石英腔
• 一個(gè)擋板安裝在法蘭上（手動操作）
• 冷卻磁控濺射頭需要一臺16升/分鐘的數(shù)控再循環(huán)冷水機(jī)組（不包括）

濺射靶

• 靶尺寸要求: 2" 直徑×1/4"厚度Max
• 包括一個(gè)SiO₂ 靶用于演示測試

真空室

• 真空室：外徑160 mm×內(nèi)徑150 mm×250 mm高度。由高純度石英制成
• 密封法蘭：直徑165毫米。由鋁制成，帶有高溫硅膠O形圈
• 包括不銹鋼網(wǎng)罩，用于100％屏蔽來自腔室的RF輻射
• 真空度：1.0E-2托，配備雙級機(jī)械泵，1.0E-5托，帶可選渦輪泵

樣品架

• 樣品架可旋轉(zhuǎn)且可加熱，由帶有不銹鋼蓋的陶瓷加熱器制成。
• 樣品架尺寸：50毫米直徑。大2英寸晶圓
• 旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)：1 - 10 rpm，均勻涂層
• 通過數(shù)字溫度控制器，支架溫度可在RT至500℃ Max范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，精度為+/- 1.0℃。

真空泵站

• 內(nèi)置KF25真空端口，用于連接真空泵。
• 需要一個(gè)帶KF25適配器的真空泵，但不包括。
• 真空度：雙級機(jī)械泵1.0E-2托，渦輪泵1.0E-5托。

整體尺寸

650 mm L×650 mm W×1630 mm H             

凈重

70 kg

售后服務(wù)

貨物發(fā)出后，CYKY提供一年免費(fèi)售后服務(wù)，服務(wù)方式限于電話指導(dǎo)、視頻指導(dǎo)、郵件指導(dǎo)、配件郵寄等遠(yuǎn)程。如需要派人現(xiàn)場服務(wù)，客戶需要支付服務(wù)人員差旅費(fèi)和出差期間的工資。