特點(diǎn)

1.專(zhuān)為SEM樣品涂覆導(dǎo)電金膜而設(shè)計(jì)。

2.緊湊型等離子濺射鍍膜機(jī)專(zhuān)為金屬涂層而設(shè)計(jì)，如金，鉑和銀。

3.包括一個(gè)2“金（4N）目標(biāo)。

輸入電壓

• 220 VAC 50/60Hz, 200W
• < 1000 W (包括真空泵功率)
• 使用1000 W變壓器(15 A保險(xiǎn)絲)可獲得110VAC電源。

輸出電壓

500 VDC

濺射電流

• 0 - 50 mA (max)可調(diào)節(jié)的濺射電流
• 數(shù)字電流表(mA)
• 過(guò)流保護(hù)

濺射時(shí)間

1 -120秒可調(diào)

樣本室

石英玻璃管, 165 mm外徑×150 mm內(nèi)徑×150 mm高

樣品臺(tái)

2"直徑,高度可調(diào), 從樣品到靶30 - 80 mm

濺射頭

2"磁控濺射頭。一個(gè)手動(dòng)操作的遮板用于保護(hù)靶

真空壓力

• 數(shù)字真空壓力表(Pa)
• KF25真空泵連接器
• 機(jī)械泵的極限真空壓力為1，泵不包括在內(nèi)。

輸入氣體

• 安裝一個(gè)1/4世偉洛克型管接頭，用于連接惰性氣瓶。

• 前面板上有一個(gè)計(jì)量閥，用于調(diào)節(jié)輸入氣體。

靶材

• 包括一個(gè)直徑50mm×0.12mm的金靶
• 4N純度金箔: 50 mm(2英寸)直徑x 0.12 mm (包含并預(yù)裝在鍍膜儀上) 
•  可選靶材

金靶 (50 mm 直徑×0.12 mm, 4N 純度) 

鉑金靶(50 mm直徑×0.12 mm, 4N純度)  

銀靶(50 mm 直徑×0.5 mm, 4N 純度) 

該型號(hào)適用于涂覆金，銀，鉑。并且由于能量低，不適合涂覆輕金屬材料，如Al、Mg、Zn或碳靶。請(qǐng)考慮我們的高功率直流/射頻磁控濺射涂布機(jī)或熱蒸發(fā)涂布機(jī)。  

產(chǎn)品尺寸和重量

L 460 mm×W 330 mm×H 520 mm

20kg

售后服務(wù)

貨物發(fā)出后，CYKY提供一年免費(fèi)售后服務(wù)，服務(wù)方式限于電話(huà)指導(dǎo)、視頻指導(dǎo)、郵件指導(dǎo)、配件郵寄等遠(yuǎn)程。如需要派人現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，客戶(hù)需要支付服務(wù)人員差旅費(fèi)和出差期間的工資