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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：524條

所在地區(qū)：

注冊(cè)時(shí)間：2017-10-06

最近登錄：2020-12-31

產(chǎn)品分類(lèi)品牌分類(lèi)

磁控濺射鍍膜儀

全部產(chǎn)品列表

暫無(wú)信息

聯(lián)系我們

聯(lián) 系人：: 汪紀(jì)彬

商鋪網(wǎng)址：: http://www.jjhengye.com/st96848/

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹：雙靶磁控濺射鍍膜儀CY-600-2HD為我公司研發(fā)的配有兩個(gè)靶位的小型實(shí)驗(yàn)室用鍍膜儀，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。與同類(lèi)設(shè)備相比，這款雙靶磁控濺射鍍膜儀不僅應(yīng)用廣泛，切體積小便于操作，是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

產(chǎn)品特點(diǎn)

1：此款鍍膜儀配置有兩個(gè)靶槍?zhuān)阂粋€(gè)靶槍配套的是射頻電源，用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜；一個(gè)靶槍配套的是直流電源，用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜

2：該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜，應(yīng)用非常廣泛。

3：該鍍膜儀體積較小，且配備有觸摸屏控制面板，操作方便。

產(chǎn)品參數(shù)

電源	220V 50Hz
功率	2000W(含真空泵）
極限真空度	10^-6torr
工作溫度	室溫~500℃
靶槍數(shù)量	2個(gè)（可選配其他數(shù)量）
靶槍冷卻方式	水冷
靶材尺寸	Φ50mm，厚度0.1~5mm
直流濺射功率	500W
射頻濺射功率	300W/500W
樣品臺(tái)尺寸	140mm
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	1~20rpm可調(diào)
保護(hù)氣體	Ar、N₂等惰性氣體
進(jìn)氣氣路	2路氣路，質(zhì)子流量計(jì)控制，每個(gè)流量為100sccm
爐體尺寸	500×560×660mm
整機(jī)尺寸	1300×660×1200mm
重量	160kg
可選配件	Au、In、Ag、Pt等
配件	直流電源控制系統(tǒng)1件；射頻電源控制系統(tǒng)1件；膜厚儀1套；分子泵1臺(tái)；冷水機(jī)1臺(tái)；冷卻水管（φ6mm）靶材（不銹鋼靶、陶瓷靶）
包裝	三合板木質(zhì)包裝