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  • 膜厚測(cè)量?jī)xEA-160
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號(hào)

訪問(wèn)次數(shù)

82

產(chǎn)地

廣東深圳市

更新時(shí)間

2026/8/17 16:47:44

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EA-160是一款全自動(dòng)非接觸式表面測(cè)量?jī)x。利用光譜共焦原理,EA-160可用于膜厚線寬測(cè)量、微觀尺寸測(cè)量、高度差測(cè)量、平面度測(cè)量、共面度測(cè)量、粗糙度測(cè)量等,也可對(duì)透明半透明材質(zhì)進(jìn)行多層尺寸測(cè)量。高精度、高速測(cè)量,結(jié)合易用的軟件,EA-160膜厚測(cè)試儀被廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、5G、3D玻璃、新型醫(yī)療、精密工業(yè)制造等領(lǐng)域。

膜厚測(cè)量?jī)xEA-160詳細(xì)信息

      EA-160是一款全自動(dòng)非接觸式表面測(cè)量?jī)x。利用光譜共焦原理,EA-160可用于膜厚線寬測(cè)量、微觀尺寸測(cè)量、高度差測(cè)量、平面度測(cè)量、共面度測(cè)量、粗糙度測(cè)量等,也可對(duì)透明半透明材質(zhì)進(jìn)行多層尺寸測(cè)量。高精度、高速測(cè)量,結(jié)合易用的軟件,EA-160膜厚測(cè)試儀被廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、5G、3D玻璃、新型醫(yī)療、精密工業(yè)制造等領(lǐng)域。


應(yīng)用領(lǐng)域:

HTCC膜厚線寬測(cè)量、LTCC膜厚線寬測(cè)量、SOFC印刷厚度測(cè)試、厚膜電路測(cè)量、晶圓涂膠測(cè)量、MEMS測(cè)量、SENSOR測(cè)量、太陽(yáng)能硅片測(cè)量、芯片形貌測(cè)量、透明材質(zhì)測(cè)量、環(huán)氧樹(shù)脂測(cè)量、印刷圖形測(cè)量、激光鐳雕測(cè)量、Wafer槽深測(cè)量、斷差測(cè)量、Lens測(cè)量、油墨厚度測(cè)量、藍(lán)寶石厚度測(cè)量、曲面鏡片測(cè)量


特點(diǎn):

高速度、高精度自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

160mm*160mm 范圍測(cè)量

透明材質(zhì)穿透測(cè)量

測(cè)量膜厚、線寬、平面度等

多程序自由切換,方便靈活


基本參數(shù):

設(shè)備品名

全自動(dòng)非接觸膜厚測(cè)試儀

設(shè)備型號(hào)

EA-160

XY測(cè)量行程

160*160mm

Z軸可調(diào)行程

50mm

掃描最小步距

1um

掃描速度

30mm/s

陶瓷檢測(cè)重復(fù)精度

±0.5μm

Z向分辨率

1nm

橫線分辨率

0.1um

光柵尺分辨率

0.01um

量程

1200um

測(cè)試方式

可編程自動(dòng)測(cè)量

MARK類型

圓形、方形、十字、菱形、多邊形、不規(guī)則圖形

載物平臺(tái)

微孔陶瓷真空吸附平臺(tái)

膜厚測(cè)試

支持

線寬測(cè)試

支持

粗糙度測(cè)試

支持

透明材料自動(dòng)測(cè)厚

支持

孔深、刻槽深度測(cè)試

支持

測(cè)量原理

光譜共焦

CCD視覺(jué)

500萬(wàn)

紅外激光對(duì)準(zhǔn)器

標(biāo)配

數(shù)據(jù)輸出

Excel、CSV格式、JPG格式

數(shù)據(jù)分析

CPK

數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)

平均值,值,最小值,極差,標(biāo)準(zhǔn)差,CP,CPK,良率,總數(shù)

數(shù)據(jù)接口

串口協(xié)議、網(wǎng)口協(xié)議

接口類型

RS485、RS232、RJ45

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

存儲(chǔ)位置任意指定

數(shù)據(jù)回測(cè)

任意節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)回測(cè)

MES信息化系統(tǒng)

支持

設(shè)備日志

具備

操作系統(tǒng)

WIN10

校驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)塊規(guī)

標(biāo)配

三角塊規(guī)

標(biāo)配

外觀尺寸

950*650*500mm

電源

AC220V±10%,50-60Hz

氣源壓縮空氣

0.3~0.7Mpa或真空氣源

重量

250KG

工控主機(jī)

內(nèi)存8G、固態(tài)硬盤(pán)480G、顯示器23.8“、分辨率1920*1080,高速千兆網(wǎng)口PCI*2



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