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STPA1603C 真空渦輪分子泵

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)STPA1603C

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-03-21 07:14:40瀏覽次數(shù)：211次

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小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供的吞吐量、高的性和的性能，滿(mǎn)足半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間，而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿(mǎn)足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。

概述

小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供的吞吐量、高的性和的性能，滿(mǎn)足半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間，而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿(mǎn)足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。

應(yīng)用

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
  • MBE
  • 擴(kuò)散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長(zhǎng)
  • 晶片檢查
  • 負(fù)載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理：射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢(shì)

的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)  
  • 改進(jìn)的性能
  • 更高的氣體吞吐量
  • 高度
  • 免維護(hù)
  • 可用于嚴(yán)苛制程
5 軸磁懸浮系統(tǒng)  
  • 無(wú)污染
  • 低振動(dòng)
防腐蝕  
  • 可用于嚴(yán)苛制程
  • 使用壽命延長(zhǎng)
緊湊型設(shè)計(jì)  
  • 占地面積小
  • 半機(jī)架控制器
的控制器設(shè)計(jì) 
  • 自動(dòng)調(diào)整
  • 自行診斷功能
  • 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
  • 無(wú)電池運(yùn)行

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO200F
KF40
吹掃口 KF16
水冷卻接頭 PT1/4
抽速
  N2 1600 ls-1
  H2 1200 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 >7 x 103
加熱時(shí)的極限壓力 10-7 Pa
大允許前級(jí)壓力 266 Pa

(2 Torr)
大氮?dú)馔掏铝? 2500 sccm
額定速度 36500 rpm
啟動(dòng)時(shí)間 7 分鐘
固定位置 任意
水冷卻流量 2 lmin-1
溫度 5-25 °C
壓力 0.3 MPa
的吹掃氣體流量 20 sccm
輸入電壓 200 至 240 (± 10) V 交流
功耗 0.85 kVA
泵重量 35 kg
控制器重量 9 kg

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