久久亚洲精品天码av,午夜福利屄插穴,午夜福利视频91,亚欧美爽爽爽爽爽,亚洲欧美日韩色色图片,青青操在线观看,精品天堂麻豆av,无码av东京热,婷婷成人亚洲少妇

上海赫哲真空設備有限公司
免費會員

當前位置:上海赫哲真空設備有限公司>>Edwards真空泵>> STP-XA2703CSTP-XA2703C 真空渦輪分子泵

STP-XA2703C 真空渦輪分子泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號STP-XA2703C

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式:徐建成查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-03-21 07:17:16瀏覽次數:208次

聯(lián)系我時,請告知來自 制藥網
STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能,并提高氣體的吞吐量。 此泵基于新的平臺設計,提供功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 其出色的性能既適用于溫和的應用環(huán)境,也適用于嚴苛的環(huán)境,例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。

概述

STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能,并提高氣體的吞吐量。 
此泵基于新的平臺設計,提供功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 
其出色的性能既適用于溫和的應用環(huán)境,也適用于嚴苛的環(huán)境,例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。

應用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負載鎖真空腔
  • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理:射束線、加速器
  • 放射線應用:融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

的轉子設計  
  • 增強的 H2、N2 和 Ar 性能
  • 改進了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內的性能
  • 免維護
5 軸磁懸浮系統(tǒng)  
  • 無污染
  • 低振動
性轉矩管理  
  • 獲得的轉矩減少機械裝置
優(yōu)化的溫度管理系統(tǒng)  
  • 高溫 TMS 能力
  • 低沉積
  • 內置冷卻機械裝置
  • 更高的氣體吞吐量(加熱和未加熱)
  • 延長壽命
  • 可用于嚴苛制程
  
  • 符合 SEMI®,具有 CE 標記,列于 UL 中

數據

入口法蘭 VG250
抽速
  N2 2650 ls-1
  H2 2050 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 >6 x 103
極限壓力 10-7 Pa
大允許前級壓力 266 Pa
大允許氣體流量
N2(水冷卻) 2300 sccm

(3.8 Pam3s-1)
Ar(水冷卻) 1900 sccm

(3.2 Pam3s-1)
額定速度 27500 rpm
啟動時間 8 min
固定位置 任何方向
水冷卻流量 3 lmin-1
水冷卻溫度 5-25 °C (41-77 °F)
壓力 0.3 MPa
的吹掃氣體流量 50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
輸入電壓 200 至 240 V 交流(± 10)
功耗 1.5 kVA
泵重量 75 kg (165 lb)
控制器重量 12 kg (26.4 lb)

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
在線留言
桦川县| 三台县| 岱山县| 玉山县| 岐山县| 青岛市| 扎鲁特旗| 武宣县| 湖北省| 郯城县| 徐州市| 安丘市| 和平区| 汶川县| 泰州市| 共和县| 保亭| 桦南县| 南安市| 永寿县| 英德市| 嘉黎县| 河曲县| 福贡县| 长武县| 商城县| 咸宁市| 定边县| 潍坊市| 康平县| 油尖旺区| 札达县| 鲁山县| 阿克苏市| 英德市| 清丰县| 罗源县| 鹿邑县| 上蔡县| 石泉县| 马边|