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STP-iX455 真空一體式渦輪分子泵

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號STP-iX455

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-03-21 07:21:14瀏覽次數(shù)：183次

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STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，與上一代渦輪泵相比將振動(dòng)降低了 50%。采用集成的控制器，不需要使用傳統(tǒng)的安裝于機(jī)架上的控制器及互連電纜，不需要水冷卻。此泵的氮?dú)獬樗贋?450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學(xué)、光刻和其他對振動(dòng)的應(yīng)用。
概述
STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，與上一代渦輪泵相比將振動(dòng)降低了 50%。采用集成的控制器，不需要使用傳統(tǒng)的安裝于機(jī)架上的控制器及互連電纜，不需要水冷卻。
此泵的氮?dú)獬樗贋?450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學(xué)、光刻和其他對振動(dòng)的應(yīng)用。

應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器

放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋


功能和優(yōu)勢
緊湊型設(shè)計(jì)，包括集成的控制器
性自傳感軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級別降低了 50%
可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
自動(dòng)平衡系統(tǒng) (ABS) 標(biāo)準(zhǔn)
自動(dòng)減振 (AVR) 標(biāo)準(zhǔn)
列于 UL 中，具有 CE 標(biāo)記，符合 SEMI® S2

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO100K
抽速
N2 300 ls-1
H2 300 ls-1
壓縮比
N2 >108
H2 >1 x 104
極限壓力 6.5 x 10-6 Pa
大工作壓力 1.3 x 10-1 Pa
允許的前級壓力 67 Pa
額定速度 55000 rpm
啟動(dòng)時(shí)間 <6 分鐘
固定位置 任何方向
冷卻方法 自然冷卻（加熱和氣體泵送時(shí)進(jìn)行水冷卻或空氣冷卻）
潤滑油 不需要
前級泵 240 lmin-1
泄露磁通量
軸向方向 <100 m/Gauss
徑向方向 <100 m/Gauss
環(huán)境溫度范圍 0 至 40 °C
存儲(chǔ)溫度范圍 -25 至 55 °C
重量 15 kg

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