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STPA2203C 真空渦輪分子泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號STPA2203C

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-21 07:16:06瀏覽次數(shù)：181次

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Edwards STPA2203C 是為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計的渦輪分子泵。它使用的轉(zhuǎn)子，可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。全新的半機架控制器能夠節(jié)省更多空間，而且采用直流驅(qū)動，無需電池即可運行。STPA2203C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型刻蝕、離子注入和沉積設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

概述

Edwards STPA2203C 是為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計的渦輪分子泵。它使用的轉(zhuǎn)子，可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。全新的半機架控制器能夠節(jié)省更多空間，而且采用直流驅(qū)動，無需電池即可運行。STPA2203C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型刻蝕、離子注入和沉積設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

應(yīng)用

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負(fù)載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理：射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

的轉(zhuǎn)子設(shè)計  
  • 更高的氣體吞吐量
  • 大的制程靈活性
5 軸磁懸浮系統(tǒng)  
  • 無污染
  • 少維護(hù)
防腐蝕  
  • 可用于嚴(yán)苛制程
  • 使用壽命延長
緊湊型設(shè)計  
  • 占地面積小
  • 半機架控制器
的控制器設(shè)計  
  • 自動調(diào)整
  • 自行診斷功能
  • 直流電機驅(qū)動
  • 無電池運行

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO250F
KF40
吹掃口 KF10
水冷卻接頭 PT1/4
抽速
  N2 2200 ls-1
  H2 1700 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 >2.5 x 104
極限壓力 10-6 Pa

(10-8 Torr)
允許的大前級壓力 400 Pa

(3 Torr)
大氮氣吞吐量 1500 sccm
額定速度 27000 rpm
啟動時間 7 分鐘
固定位置 任意
水冷卻流量 2 lmin-1
水冷卻溫度 5-25 °C
壓力 0.3 MPa
的吹掃氣體流量 20 sccm
輸入電壓 200 至 240 (± 10) V 交流
功耗 1.5 kVA
泵重量 61 kg
控制器重量 12 kg

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