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概述

nXDS15i 是下一代無(wú)油的干式渦旋泵，可在應(yīng)用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。

用途

一般清潔泵送應(yīng)用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級(jí)渦輪泵
速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹(shù)脂
蒸餾/萃取/過(guò)濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學(xué)儀器

nXDS15i 100 - 127 V，200 - 240 V，1 相，50/60 Hz

A

特性與優(yōu)勢(shì)

真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑，密封可的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置與的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本
的接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過(guò) USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視

數(shù)據(jù)

標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度	1800 rpm
排量	17.1 m3h-1 / 10.1 ft3min-1
峰值抽速	15.1 m3h-1 / 8.9 ft3min-1
極限真空（總壓力）	0.007 mbar / 0.005 Torr
待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度	1200 rpm
速度控制精度（以全速百分比表示）	1%
轉(zhuǎn)速時(shí)的抽速	9.9
大連續(xù)進(jìn)氣口壓力	200 mbar
電機(jī)功率（一相）	300 W
電源連接器（1 相）	IEC EN60320 C13
保險(xiǎn)絲	10A，250Vac rms
重量	25.2 kg / 56 lb
入口法蘭	NW25
排氣口法蘭	NW25
噪音級(jí)別	52 dB(A)
入口法蘭處抗振性	< 4.5 mms-1 (rms)
密封性（靜態(tài)）	< 1x10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍	10 至 40 °C / 41 至 104 °F