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STPH301C 真空渦輪分子泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號STPH301C

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-20 07:16:31瀏覽次數(shù)：166次

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Edwards 的高性能 STPH301C 渦輪分子泵是為嚴苛的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計的。這種泵經(jīng)過實踐檢驗的性和的性能可以實現(xiàn)大的制程靈活性。STPH301C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

概述

Edwards 的高性能 STPH301C 渦輪分子泵是為嚴苛的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計的。這種泵經(jīng)過實踐檢驗的性和的性能可以實現(xiàn)大的制程靈活性。STPH301C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

應(yīng)用

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負載鎖真空腔 
  • 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理：射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

的轉(zhuǎn)子  
  • 更高的氣體吞吐量
  • 大的制程靈活性
  • 無油
  • 低振動
  • 高度
  • 免維護
  • 可用于嚴苛制程
  • 使用壽命延長
的控制器設(shè)計  
  • 自動調(diào)整
  • 自行診斷功能
  • 直流電機驅(qū)動
  • 無電池運行
緊湊型設(shè)計  
  • 占地面積小
  • 半機架控制器
  • 5 軸磁懸浮系統(tǒng)
  • 無污染
  • 少維護
  • 任意方向操作

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO100K
KF40
吹掃口 KF10
水冷卻接頭 PT1/4
抽速
  N2 300 ls-1
  H2 200 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 103
加熱時的極限壓力 10-7 Pa

(10-9 Torr)
大連續(xù)壓力 660 Pa

(5 Torr)
大氮氣吞吐量 2500 sccm
額定速度 48000 rpm
啟動時間 4 分鐘
高入口法蘭溫度 120 °C
輸入電壓 100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流
功耗 0.6 kVA
泵重量 15 kg
控制器重量 9 kg

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