久久亚洲精品天码av,午夜福利屄插穴,午夜福利视频91,亚欧美爽爽爽爽爽,亚洲欧美日韩色色图片,青青操在线观看,精品天堂麻豆av,无码av东京热,婷婷成人亚洲少妇

上海赫哲真空設(shè)備有限公司
免費會員

當(dāng)前位置：上海赫哲真空設(shè)備有限公司>>Edwards真空泵>> STP603STP603 真空渦輪分子泵

STP603 真空渦輪分子泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號STP603

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-20 07:12:09瀏覽次數(shù)：213次

聯(lián)系我時，請告知來自 制藥網(wǎng)
同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品更多>
Edwards STP603 是的渦輪分子泵，可用于的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

概述

Edwards STP603 是的渦輪分子泵，可用于的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

應(yīng)用

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負(fù)載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理：射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
入口法蘭 ISO160F
KF40
抽速
  N2 650 ls-1
  H2 550 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 >105
加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭） 6.5 x 10-6 Pa

(5 x 10-8 Torr)
加熱時的極限壓力（ICF 法蘭） 10-7 Pa

(10-9 Torr)
大連續(xù)壓力 13 Pa (0.1 Torr)
額定速度 35000 rpm
啟動時間 6 分鐘
高入口法蘭溫度 120 °C
輸入電壓 100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流
啟動時的功耗 0.8 kVA
泵重量 31 kg
控制器重量 9 kg

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏！
標(biāo)簽：
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

常用：

提示

X
您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復(fù)您~
在線留言
驻马店市| 留坝县| 渝北区| 咸宁市| 永昌县| 吉林省| 五大连池市| 乾安县| 民丰县| 共和县| 宣武区| 黄梅县| 泽库县| 新安县| 方山县| 云梦县| 洛宁县| 新化县| 依兰县| 斗六市| 庆阳市| 洛川县| 阿拉善左旗| 泰顺县| 当雄县| 依兰县| 江阴市| 岱山县| 广宁县| 渭源县| 渝中区| 耒阳市| 上林县| 隆德县| 海宁市| 无极县| 榕江县| 惠水县| 安吉县| 达尔| 广宗县|