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上海赫哲真空設(shè)備有限公司
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STP301 真空渦輪分子泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號STP301

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-20 07:10:58瀏覽次數(shù)：125次

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Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

概述

Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
 
此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網(wǎng)。
  
如需完整安裝，請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。
 

應(yīng)用

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負(fù)載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理：射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

的轉(zhuǎn)子  
  • 大的制程靈活性
  • 無油
  • 低振動
  • 高度
  • 免維護
的控制器設(shè)計  
  • 自動調(diào)整
  • 自行診斷功能
  • 直流電機驅(qū)動
  • 無電池運行
緊湊型設(shè)計  
  • 占地面積小
  • 半機架控制器

技術(shù)データ

入口法蘭 ISO100，CF100
KF25
抽速
  N2 300 ls-1
  H2 300 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 >2 x 104
加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭） 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
加熱時的極限壓力（ICF 法蘭） 10-8 Pa (10-10 Torr)
大允許進氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻） 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
大連續(xù)壓力（環(huán)境空氣冷卻） 13 Pa (0.1 Torr)
額定速度 48000 rpm
啟動時間 3 min
高入口法蘭溫度 120 °C
輸入電壓 100 至 120 (± 10%) V 交流或

200 至 240 (± 10%) V 交流
啟動時的功耗 0.55 kVA
泵重量 11 kg
控制器重量 7 kg

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