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概述

HT 高吞吐量系列是我們擴(kuò)散泵產(chǎn)品中的產(chǎn)品，采用針對(duì)工業(yè)級(jí)用戶的制造。

Edwards HT10（ANSI10/ISO320 進(jìn)氣口）擴(kuò)散泵可用于高、低負(fù)荷的工業(yè)應(yīng)用。構(gòu)造堅(jiān)固，即使在高壓條件下也提供的抽速。機(jī)械加工的鑄造鋁制內(nèi)核可提供穩(wěn)定的性能，不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性，可以制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時(shí)提供的吞吐量（壓力乘以抽速），適合涉及大量氣體的工業(yè)制程。

應(yīng)用

真空冶金
蒸餾、干燥和脫氣
薄膜覆層和噴鍍
大型研究活動(dòng)

功能和優(yōu)勢(shì)

與同等尺寸的泵相比，吞吐量高

與同等尺寸的泵相比，轉(zhuǎn)換壓力快

的大前級(jí)壓力和對(duì)氣體激增的耐受性

與同等尺寸的泵相比，具有的抽速

集成的冷卻帽，可實(shí)現(xiàn)佳性能和極低的回流

針對(duì)低壓的自行分餾

易于更換的加熱器組件

數(shù)據(jù)

相對(duì)抽速	4650 ls-1
ISO 抽速?
氮?dú)?	3000 ls-1
氦氣	4650 ls-1
AVS 泵送
氮?dú)?	3330 ls-1
氦氣	5165 ls-1
大吞吐量（氮?dú)猓?	10 mbar ls-1
	7.5 Torr ls-1
臨界前級(jí)壓力 (DC704EU)	1.1 mbar
	0.8 Torr
大吞吐量的對(duì)應(yīng)前級(jí)泵排量	60 m3h-1
	35 ft3min-1
的前級(jí)泵?	GV80，E2M80
的液體	DC704EU
液體充填量（干）	1250 ml
	1.3 qt
進(jìn)氣口/前級(jí)連接	ANSI10/ANSI12 或 EO12 inch/EO130 mm 或 ISO320/ISO63
水接頭	3/8 英寸 NPT 母頭
加熱器功率	5.1 kW
	6.8 hp
預(yù)熱時(shí)間	30 分鐘
冷卻水流量（25 °C 時(shí)）	400 l h-1
	1.8 US gal min-1
冷卻水供給源兩端的壓力降	1 bar
	14.5 psi
重量	80 kg
	176 lbs

? 通過總壓力測(cè)量獲得的 ISO 速度和吞吐量數(shù)據(jù)。部分壓力讀數(shù)通常使數(shù)據(jù)增加 ~30%。對(duì)于同一個(gè)泵，ISO 速度測(cè)量通常比 AVS 測(cè)量小 10%。
? 提供這些數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)聯(lián)系 Edwards 獲得適合您的應(yīng)用的泵組合建議。