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EPX500L 半導(dǎo)體干式真空泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號EPX500L

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-16 07:46:44瀏覽次數(shù)：181次

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新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX500 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

概述

新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX500 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

應(yīng)用

  • EPX 系列涵蓋的應(yīng)用，從水處理到中度工作負載的制程。
      
    EPX“L"系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢

  • 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
  • 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
  • 的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在進氣口壓力下連續(xù)工作。
  • 清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
  • – EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
  • 可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進行診斷監(jiān)視和控制。

數(shù)據(jù)

峰值速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
極限真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
預(yù)熱時間（達到標稱性能） 30 分鐘
入口法蘭 ISO160
法蘭 NW25
噪音 <59 dB(A)
冷卻水流速 2 lmin-1
冷卻水溫度 15 – 35°C
電源供給 200/208 V，50/60 Hz，3 相
極限功率 1.4 kW
電機額定功率 3.0 kW
TIM C3
重量 45.2 kg

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