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製品概要

新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。 EPX180 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
EPX NE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。通過終用戶控制器可以實現(xiàn)獨立使用的本地控制，并能夠連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡，以進行遠程控制和監(jiān)視。

應用

負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質(zhì)刻蝕

EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“N"系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應用范圍擴大為中等制程，在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。

功能和優(yōu)勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在進氣口壓力下連續(xù)工作。
清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
– EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡 - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡，以進行診斷監(jiān)視和控制。

數(shù)據(jù)

峰值速度	170 m3h-1
	105 ft3min-1
	2835 lmin-1
極限真空
	<1 x 10-4 mbar
	<7.5 x 10-5 Torr
	<1 x 10-2 Pa
預熱時間（達到標稱性能）	30 分鐘
入口法蘭	ISO63
法蘭	NW25
噪音	<59 dB(A)
冷卻水流速	2 lmin-1
冷卻水溫度	15 – 35°C
氮氣供給接口	1/4 in (6.5 mm) 管
氮氣供給壓力	3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮純度	99.95%
電源供給	400 V，50/60 Hz，3 相
極限功率	1.4 kW
電機額定功率	3.0 kW
TIM	無
重量	43.5 kg