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當前位置：上海赫哲真空設(shè)備有限公司>>Edwards真空泵>> iH160iH160 半導體干式真空泵

iH160 半導體干式真空泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號iH160

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-16 07:36:25瀏覽次數(shù)：156次

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Edwards 半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。 iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

概述

Edwards 半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

應用

  • 負載鎖
  • 輸送
  • 計量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 預清潔
  • RTA
  • 剝離/灰化
  • 刻蝕
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

有關(guān)任何特定應用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。

功能和優(yōu)勢

  • 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
  • 無需預防性維護。
  • 懸臂軸和的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
  • 在節(jié)省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
  • 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

數(shù)據(jù)

峰值速度 165 m3h-1
97 cfm
2750 l min-1
極限真空 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO63
連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 120 l h-1
2 l min-1
重量 244 kg
極限功率輸入 3.1 kW
電機額定功率 5.0 kW
油容量 0.85 l

  
數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

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