產(chǎn)品簡介
JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng)，兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度，能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版，適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。
此外，由于具有100MHz的掃描速度，場尺寸在1000µm×1000µm時的套刻精度達到±11nm、場拼接精度為±10nm、寫場內(nèi)位置精度達±9nm，是兼具高水準(zhǔn)產(chǎn)出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng)。
由于采用的位置偏轉(zhuǎn)DAC為20位，掃描DAC為14位，能獲得0.25nm的掃描步距，分辨率更高，描畫數(shù)據(jù)增長1nm，可以更忠實地再現(xiàn)描畫數(shù)據(jù)。
達到100ＭＨｚ的高速化掃描速度，保證了大電流描畫時的掃描步距很短，因而能提高對精度要求的圖形描畫的產(chǎn)出量。
由激光束控制（LBC）的0.15nm（λ/4096）的最小定位單位及高分辨率，達到了高水準(zhǔn)的位置精度。
本公司獨自的自動校正功能(自動補償功能)，實現(xiàn)了可信賴的長時間穩(wěn)定地描畫。自動補償可以根據(jù)時間（任意的）、場和圖形進行分別設(shè)定，非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時間描畫。
該系統(tǒng)能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版，適合于納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等各種領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)（選配），最多可裝載10個卡匣。
利用微間距控制程序（場尺寸微調(diào)程序）可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。
| 電子槍 | ZrO/W 肖特基型 |
|---|---|
| 描畫方式 | 圓形束, 矢量掃描, 步進重復(fù)式 |
| 加速電壓 | 100kV |
| 樣品尺寸 | 樣品尺寸 (可以安裝): 300mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。 |
| 場尺寸 | 1000µm×1000µm |
| 樣品臺移動范圍 | 260mmX240mm |
| 樣品臺控制單元 | 0.15nm（λ/4096） |
| 套刻精度 | ≦±11nm |
| 場拼接精度 | ≦±10nm （場尺寸為1000µm×1000µm） |
| 寫場內(nèi)位置精度 | ≦±9nm（場尺寸為1000µm×1000µm） |
| 定位DAC | 20位 |
| 掃描速度 | 100MHz |
留言咨詢
您訪問的JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng)產(chǎn)品信息，由廣州文明機電有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關(guān)于JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng)型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
該內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會員負責(zé)，為保障安全，建議您在購買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)以及產(chǎn)品質(zhì)量！
相關(guān)分類
該廠商其他產(chǎn)品
隨時掌握行業(yè)動態(tài)
采購中心
采購專員1對1咨詢
*您想獲取產(chǎn)品的資料：
個人信息：
白山市|
顺平县|
临清市|
正宁县|
宜宾县|
平阳县|
九龙坡区|
宁蒗|
鄂托克旗|
鸡东县|
株洲市|
静宁县|
宝清县|
四平市|
新巴尔虎右旗|
正宁县|
甘泉县|
哈巴河县|
临颍县|
三亚市|
五家渠市|
灌阳县|
项城市|
日照市|
张家港市|
舒兰市|
平安县|
文登市|
通州市|
广河县|
钦州市|
介休市|
贺兰县|
彝良县|
广州市|
绥芬河市|
忻州市|
凤山县|
武乡县|
南江县|
漠河县|
用戶評論
發(fā)布評論