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JBX-6300FS 電子束光刻系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱廣州文明機(jī)電有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地廣州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2026/6/18 8:24:41
  • 訪問次數(shù)48
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廣州文明機(jī)電有限公司,簡(jiǎn)稱GZ CVL(GZ Civil Mechatronic)成立于2006年,是業(yè)內(nèi)的企業(yè),由留學(xué)歸國的北京大學(xué)博士后和華南師范大學(xué)MBA班學(xué)生共同創(chuàng)辦,擁有數(shù)十項(xiàng),為廣東省科技型中小企業(yè),屬國家與專精特新培育企業(yè)。十幾年來,我們一直專注的領(lǐng)域包括科學(xué)儀器、汽車測(cè)試儀器、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備、測(cè)試測(cè)量與控制、嵌入式開發(fā)工具和軟件工程。“GZ CVL”始終堅(jiān)持品牌化經(jīng)營戰(zhàn)略,以服務(wù)為基礎(chǔ),以質(zhì)量求生存,以管理求發(fā)展,秉承一切以客戶為中心的服務(wù)理念。憑借多年來客戶的信任和支持,“GZ CVL”積累了豐富的營銷及安裝經(jīng)驗(yàn),是一家擁有的管理,的技術(shù)、高水平的營銷和*的售后服務(wù)為一體化的專業(yè)化測(cè)試及分析儀器設(shè)備公司。工業(yè)推動(dòng)中國,創(chuàng)新感動(dòng)世界,GZ CVL以“創(chuàng)、建百年企業(yè)”為奮斗目標(biāo),積極促進(jìn)“中國制造”向“中國創(chuàng)造”的轉(zhuǎn)變。公司以“科技開創(chuàng)未來”為宗旨,以專業(yè)技術(shù)為核心,以優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為先導(dǎo),為我國測(cè)試及分析技術(shù)發(fā)展做貢獻(xiàn),努力實(shí)現(xiàn)中國工業(yè)騰飛。 廣州文明依靠國內(nèi)外測(cè)試和分析儀器設(shè)備領(lǐng)域多家國際化大公司以及中山大學(xué)、華南理工大學(xué)的*實(shí)力,代理專業(yè)測(cè)試分析儀器設(shè)備,開展相關(guān)技術(shù)培訓(xùn),自主研發(fā)配套軟硬件,并提供的系統(tǒng)解決方案。公司具有持續(xù)的自主創(chuàng)新能力和科研成果轉(zhuǎn)讓或者產(chǎn)業(yè)化的實(shí)力,核心產(chǎn)品包含:新能源汽車測(cè)試臺(tái)架,空燃比分析儀,尾氣分析儀,掃描電鏡,熱分析儀,光譜分析儀,質(zhì)譜分析儀等。"GZ CVL" 和 "希為爾"為廣州文明機(jī)電有限公司所擁有的兩個(gè)注冊(cè)商標(biāo)。本公司是日本HORIBA,日本Lineeye,美國Applus, 美國Innovate,美國midtronics,瑞典Kvaser,英國PICO,日本電子捷歐路(JEOL),德國林賽斯、韓國K LAB等公司的中國代理和經(jīng)銷商。GZ Civil Mechatronic Co. Ltd.(), founded on 2006.It is a well-known enterprise in the industry, focus on test and analytical instruments R & D, manufacture and sales. Our company is committed to carry out the relevant technical training, independent research and development of automotive and industrial automation system, and provide the most effective system solutions. Our core products include: Automotive teaching training equipment, engine power test system, automobile oscilloscope, exhaust gas analyzer etc. 所獲榮譽(yù):一、廣州市科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金二、“LM-2空燃比測(cè)試儀”榮獲“全國20佳維修工具”獎(jiǎng)三、汽車示波器 3423-kit榮獲“全國20佳維修工具”獎(jiǎng)四、“立富L總線分析儀”榮獲“全國20佳維修工具”特別獎(jiǎng)五、廣東省“優(yōu)秀信用企業(yè)”六、阿里巴巴誠信通會(huì)員七、慧聰網(wǎng)買賣通會(huì)員八、具有外貿(mào)進(jìn)出口權(quán)九、是增值稅一般納稅人十、自有商標(biāo)品牌十一、廣東省科技型中小企業(yè)
JBX-6300FS的電子光學(xué)系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動(dòng)調(diào)整直徑為(計(jì)算值)2.1nm的電子束,簡(jiǎn)便地描畫出線寬在8nm以下(實(shí)際可達(dá)5nm)的圖形。 此外,該光刻系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了9nm以下的場(chǎng)拼接精度和套刻精度,性能比。 利用最細(xì)電子束束斑(實(shí)測(cè)值直徑≦2.9
JBX-6300FS 電子束光刻系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

JBX-6300FS的電子光學(xué)系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動(dòng)調(diào)整直徑為(計(jì)算值)2.1nm的電子束,簡(jiǎn)便地描畫出線寬在8nm以下(實(shí)際可達(dá)5nm)的圖形。

此外,該光刻系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了9nm以下的場(chǎng)拼接精度和套刻精度,性能比。

利用最細(xì)電子束束斑(實(shí)測(cè)值直徑≦2.9nm)可以描畫8nm以下(實(shí)際可達(dá)5nm)極為精細(xì)的圖形。本公司獨(dú)特的DF/DS系統(tǒng)能對(duì)電子束偏轉(zhuǎn)產(chǎn)生的畸變進(jìn)行校正,具有球差和象散自動(dòng)補(bǔ)償功能,可在場(chǎng)邊角、場(chǎng)邊界處進(jìn)行高精度地描畫。

該系統(tǒng)采用了19位DAC和樣品臺(tái)控制精度為0.6nm的激光干渉儀,實(shí)現(xiàn)了業(yè)界水準(zhǔn)的位置精度、拼接、套刻精度(±9nm)?!】捎糜谖恢镁纫蠛芨叩墓庾悠骷⑼ㄐ旁O(shè)備等領(lǐng)域的研究和開發(fā)。

本公司獨(dú)自的自動(dòng)校正功能(自動(dòng)補(bǔ)償功能),實(shí)現(xiàn)了可信賴的長時(shí)間穩(wěn)定地描畫。自動(dòng)補(bǔ)償可以根據(jù)時(shí)間(任意的)、場(chǎng)和圖形進(jìn)行分別設(shè)定,非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時(shí)間描畫。

掃描速度高達(dá)50MHz,再加上地抑制了機(jī)器的準(zhǔn)備操作時(shí)間,因此縮短了描畫時(shí)間,到描畫開始為止的作業(yè)非常簡(jiǎn)單,聚焦也能夠自動(dòng)進(jìn)行,因而能提高總產(chǎn)出量。

使用自動(dòng)裝載系統(tǒng)(選配),最多可以連續(xù)描畫10個(gè)樣品架。(例:可連續(xù)描畫10張6英寸的晶圓片或者40張2英寸的晶圓片等?!B續(xù)描畫時(shí),需要和材料數(shù)相應(yīng)的樣品架。)目前在日本國內(nèi)外已有這樣的生產(chǎn)線。

利用微間距控制程序(場(chǎng)尺寸精調(diào)程序),可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。

電子槍ZrO/W 肖特基型
描畫方式描畫方式
加速電壓25kV (選配), 50kV, 100kV
樣品尺寸200mmΦ的晶圓片, 5英寸或 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。
樣品尺寸2000μmX2000μm
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍190mmX170mm
套刻精度≦±9nm
場(chǎng)拼接精度≦±9nm
掃描速度 50MHz
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