測(cè)量原理本儀器測(cè)量原理為直角坐標(biāo)測(cè)量法，即通過(guò)X軸、Z1軸傳感器，測(cè)繪出被測(cè)零件的表面輪廓的坐標(biāo)點(diǎn)，通過(guò)電器組件，將傳感器所測(cè)量的坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔籔C機(jī)，軟件對(duì)所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算處理，標(biāo)注所需的工程測(cè)量項(xiàng)目

Ø 測(cè)量原理

   本儀器測(cè)量原理為直角坐標(biāo)測(cè)量法，即通過(guò)X軸、Z1軸傳感器，測(cè)繪出被測(cè)零件的表面輪廓的坐標(biāo)點(diǎn)，通過(guò)電器組件，將傳感器所測(cè)量的坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔?/span>PC機(jī)，軟件對(duì)所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算處理，標(biāo)注所需的工程測(cè)量項(xiàng)目。

Ø 測(cè)量功能

輪廓測(cè)量功能

尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑

夾角：包含水平角、垂直角、夾角

位置公差：包含平行度、垂直度

形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧輪廓度

輔助生成：包含輔助點(diǎn)、輔助線、輔助圓

粗糙度測(cè)量功能

粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr

原始輪廓參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

Ø 測(cè)量范圍

項(xiàng)目	測(cè)量范圍	分辨率
驅(qū)動(dòng)器	100mm	0.2μm
輪廓傳感器	25mm	0.05μm
粗糙度傳感器	±420μm	65536:1
立柱	320mm	-

 

Ø 
 技術(shù)規(guī)格

輪廓儀部分技術(shù)參數(shù)	線性精度1	±（1.5+|0.2H|）μm
	圓弧2	±（2+R/8）μm
	角度3	±2′
	直線度4	0.8μm/100mm
粗糙度部分技術(shù)參數(shù)	線性精度	±(7nm+3.5%)
	殘值噪聲	≤0.025μm
	重復(fù)性	1δ≤2nm
	截止波長(zhǎng)	0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
	評(píng)定長(zhǎng)度	λcX2、3、4、5、6、7
運(yùn)動(dòng)控制	X軸驅(qū)動(dòng)方式	電動(dòng)
	Z軸驅(qū)動(dòng)方式	電動(dòng)
	X軸驅(qū)動(dòng)速度	0.1~10mm/s
	Z軸驅(qū)動(dòng)速度	0.5-10mm/s

 

注：1、H為水平位置上的測(cè)量高度；2、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°；3、60°、90°的角度塊，角邊取樣長(zhǎng)度為5mm；4、λc為2.5mm，測(cè)量速度為≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°6、以上參數(shù)均在20℃±5℃，階梯溫度不超過(guò)2℃/h的環(huán)境下測(cè)得；7、地面震動(dòng)RMS  

＜50HZ  2.5μm/s /＞50HZ  5.0μm/s。