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蘇州工業(yè)園區(qū)匯光科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：137條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

注冊時(shí)間：2014-02-07

最近登錄：2021-05-22

產(chǎn)品分類 品牌分類

晶圓檢測設(shè)備: ?雙面檢測同軸顯微鏡

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聯(lián) 系人：: 王經(jīng)理,樊經(jīng)理

商鋪網(wǎng)址：: http://www.jjhengye.com/st98903/

產(chǎn)品簡介

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)，專用行業(yè)檢測設(shè)備，自動(dòng)化測量，操作便捷。

詳細(xì)介紹

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)應(yīng)用

（1）崩邊檢測

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)崩邊檢測

（2）溝槽深度掃描測量

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)溝槽深度掃描測量

（3）線條圖形掃描寬度提取

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)線條圖形掃描寬度提取

（4）測試位置可以自定義

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)測試位置可自定義

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)樣品測試數(shù)據(jù)

（1）槽深測量

槽深測量

（2）槽寬測量

槽寬測量

（3）四個(gè)位置的測量結(jié)果

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)測量結(jié)果

晶圓切割3D形貌檢測機(jī)樣品測試小結(jié)

（1）隨機(jī)選取四個(gè)鐳射槽的槽寬在53.4~57.7μm，槽深在20.9~25.9μm

（2）測量四個(gè)位置自動(dòng)化所需時(shí)間約為2min

測量結(jié)果


槽內(nèi)干涉條紋圖	表面干涉條紋圖

樣品三維圖

QQ截圖20230308133637.jpg

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晶圓切割3D形貌檢測機(jī)

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