純度見微——iCAP MTX ICPMS 助力高純鋁痕量雜質(zhì)精準(zhǔn)檢測

發(fā)布時間：2026-9-4

　　背景

　　高純鋁，通常指純度≥99.99%，甚至達到99.999%即“5N”的鋁材料，由于其極低雜質(zhì)含量，因此具有優(yōu)異的導(dǎo)電導(dǎo)熱性能、良好的延展性和化學(xué)穩(wěn)定性，在許多領(lǐng)域具有不可替代的作用。其最核心的用途是用于電子與半導(dǎo)體行業(yè)，在集成電路與芯片制造中，高純鋁用作金屬互連材料、制作電極、引線等。同時，鋁表面能夠形成致密且穩(wěn)定的氧化膜，使其在高純氣體輸送系統(tǒng)及半導(dǎo)體制造相關(guān)管路中具有良好的應(yīng)用性能。

　　目前分析鋁及鋁合金中金屬元素的標(biāo)準(zhǔn)為GB/T 20975，涉及的分析方法有火焰原子吸收光譜法、分光光度法和電感耦合等離子體發(fā)射光譜法，其中火焰原子吸收光譜法和分光光度法均為單元素測試方法，測試速度慢，分析效率低。電感耦合等離子體發(fā)射光譜法通常難以滿足4N以上的高純鋁測試。因此，本研究采用電感耦合等離子體質(zhì)譜法，結(jié)合三重四極桿質(zhì)量篩選和靈活的碰撞/反應(yīng)模式消除復(fù)雜質(zhì)譜干擾，從而實現(xiàn)高純鋁中痕量雜質(zhì)元素的準(zhǔn)確測定。

　　賽默飛解決方案

　　儀器： Thermo Fisher iCAP MTX ICPMS

　　儀器參數(shù)

表1：儀器參數(shù)表

(點擊查看大圖)

　　標(biāo)準(zhǔn)曲線

　　各元素在0-50μg/L濃度范圍內(nèi)均呈現(xiàn)良好線性關(guān)系。空白溶液測試11次，以結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)偏差SD的3倍作為儀器檢出限，方法檢測限為儀器檢出限乘以總稀釋倍數(shù)1000進行計算。結(jié)果顯示，在常規(guī)實驗室環(huán)境下，大多數(shù)痕量元素的方法檢測限達到0.01 μg/g級別，表明iCAP MTX ICPMS在該類樣品多元素分析中具有優(yōu)異的靈敏度。

表2：元素/模式、相關(guān)系數(shù)、儀器檢出限和方法檢出限表