分析從極小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會對樣品造成破壞。借助*大 300 mm 的橫向移動距離和*高 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿足潔超凈室等......

大尺寸樣品正置式顯微鏡Axio Imager Vario特點：

 

兩種手動和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分   利用顯微鏡*大 300 mm 橫向與縱向移動距離和*高 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢。

Axio Imager Vario 能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高精準聚焦精度和可重復性。

借助自動聚焦硬件，您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。

Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應用，以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。

                 晶圓