超純水設備是采用預處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

?超純水設備的工作原理主要包括離子交換技術(shù)、反滲透技術(shù)和電去離子技術(shù)（EDI）。??12

?離子交換技術(shù)?：通過離子交換樹脂去除水中的離子，包括陽離子和陰離子。這種方法可以有效去除水中的雜質(zhì)和離子，但需要定期再生樹脂，使用化學藥劑，成本較高且環(huán)境不友好。

?反滲透技術(shù)?：利用半透膜的滲透作用，通過壓力差將水中的鹽分和其他雜質(zhì)截留，而讓純水通過。這種方法能有效去除大部分溶解物和懸浮物，但無法去除離子。

?電去離子技術(shù)（EDI）?：結(jié)合了離子交換和電滲析技術(shù)，通過電場作用將水中的離子遷移并通過離子交換膜去除。EDI系統(tǒng)不需要化學再生，操作簡單且環(huán)保