TF500/TF600 適合*研發(fā)和試生產(chǎn)的全功能系統(tǒng)

HHV TF500及TF600系統(tǒng)設(shè)計(jì)具有高級(jí)工藝能力。系統(tǒng)配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件，以精確的符合用戶需求。這兩個(gè)型號(hào)的系統(tǒng)都可以安裝多個(gè)鍍膜源，也都支持離子束處理選項(xiàng)。有一系列預(yù)進(jìn)樣室（Load Lock）和樣品操縱裝置可供選擇，以提高真空鍍膜效率。

系統(tǒng)配置不銹鋼真空腔室，高真空泵安裝在腔室后方。工藝附件布局采用特殊設(shè)計(jì)，向每個(gè)客戶提供滿意適配化的方案。工藝附件包括熱阻及電子束蒸發(fā)源、直流及射頻濺射源、用于工件刻蝕或輔助沉積的離子源。系統(tǒng)可以同時(shí)配置熱阻、電子束及磁控濺射源。濺射系統(tǒng)可以配置成向上或向下濺射的結(jié)構(gòu)。工件臺(tái)選項(xiàng)包括加熱、冷卻、偏壓和預(yù)進(jìn)樣操作等。

系統(tǒng)控制選項(xiàng)包括穩(wěn)定的PLC真空控制系統(tǒng)配合手動(dòng)操作的工藝附件的簡(jiǎn)單模式，或者計(jì)算機(jī)集成控制的自動(dòng)模式。