產(chǎn)品介紹

10L射頻高配版：TS-PL10MA/P
1. 真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L200mm*W270mm*H200mm
2. 電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3. 電極尺寸：180mm *230mm（可處理產(chǎn)品尺寸規(guī)格）
4. 頻率：13.56MHz
5. 功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)
6. 氣體控制：MFC質(zhì)量流量計(jì)， 0-500ml 2路氣體
7. 真空度測(cè)量?jī)x器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開(kāi)關(guān)（SMC）
8. 控制方式：7寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能：界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸：長(zhǎng)500mm 寬550mm 高800mm
11.電極板配置：配備3個(gè)卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置

10L射頻標(biāo)配版：TS-PL10MA
1. 真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L200mm*W270mm*H200mm
3. 電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3. 電極尺寸：180mm *230mm（可處理產(chǎn)品尺寸規(guī)格）
4. 頻率：13.56MHz
5. 功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)
6. 氣體控制：精密針閥式浮子流量計(jì)， 0-1000ml 2路氣體
7. 真空度測(cè)量?jī)x器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開(kāi)關(guān)（SMC）
8. 控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能：界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸：長(zhǎng)500mm 寬550mm 高800mm
11 .電極板配置：配備3個(gè)卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置