產(chǎn)品介紹

在線式真空等離子清洗系統(tǒng)自動搬運(yùn)物料的設(shè)計要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運(yùn)過成,提高了設(shè)備自動化水平。

在線真空等離子清洗系統(tǒng)介紹：

在線真空等離子清洗系統(tǒng)如上圖所示，將腔體與加速極連在一起，形成一個密封空間。產(chǎn)品從進(jìn)口閥門傳輸進(jìn)入腔體后，關(guān)閉進(jìn)口閘閥，直至等離子清洗處理完成后，打開出口閘閥送出產(chǎn)品到下一道工序。首先對真空腔抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到0.01mbr以下，向真空室內(nèi)充入幾mbr的反應(yīng)氣體，使真空腔壓力保持在1mbr左右。參數(shù)的設(shè)置根據(jù)真空檢測規(guī)數(shù)據(jù)反饋到節(jié)流閥控制器，由控制器控制節(jié)流閥閥門大小，進(jìn)而控制真空泵抽氣量，維持壓力的動態(tài)平衡。接通射頻電源引發(fā)輝光放電產(chǎn)生等離子體，在真空腔體內(nèi)形成大量均勻的等離子體，等離子體頻繁碰撞產(chǎn)品表面使產(chǎn)品被清洗干凈。

等離子表面處理原理介紹：

在等離子體中除了氣體分子，離子和電子外，還存在受到能量激勵的處于激發(fā)狀態(tài)的電中性的原子或原子團(tuán)（又稱自由基），以及等離子體發(fā)射出的光線。其中的波長短，能量搞得紫外光在等離子體與物質(zhì)表面相互作用有著重要的作用。下面對它門 的作用分別進(jìn)行介紹。

原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng)

由于這些自由基呈電中性，存在壽命較長，而且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等離子體中發(fā)揮著重要的作用。自由基的作用主要表現(xiàn)在化學(xué)反應(yīng)過程中的能量傳遞的“活化"作用，處于激發(fā)狀態(tài)的自由基具有較高的能量，因此易于與物體表面分子結(jié)合時會形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很可能發(fā)生分解反應(yīng)，在變成較小分子的同時生成新的自由基，這種反應(yīng)過程還可能繼續(xù)進(jìn)行下去，最后分解成水，二氧化碳之類的簡單分子，在另一些情況下，自由基與物體表面分子結(jié)合的同時，回釋放出大量的結(jié)合能，這種能量又成為引發(fā)新的表面反應(yīng)的推動力，從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被去除。

電子與物體表面的作用

一方面對物體表面的撞擊作用，可促使吸附在物體表面的氣體分子發(fā)生分解或吸附，另一方面大量的電子撞擊有利引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。由于電子質(zhì)量極小，因此比離子的移動速度要快得多。當(dāng)進(jìn)行等離子體處理時，電子要比離子更早到達(dá)物體表面，并使表面帶有負(fù)電荷，這有利于引發(fā)進(jìn)一步反應(yīng)。

離子與物體表面的作用

通常指的是帶正電荷的陽離子的作用，陽離子有加速沖向帶負(fù)電荷的表面的傾向，此時物體表面獲得相當(dāng)大的動能，足以撞擊去除掉表面上附著的顆粒性物質(zhì)，我們把這種現(xiàn)象稱為濺射現(xiàn)象。而通過離子的沖擊作用可以極大促進(jìn)物體表面化學(xué)反應(yīng)發(fā)生的幾率。

紫外線與物體表面的反應(yīng)

紫外線具有很強(qiáng)的光能，（h）可使附著在物體表面的物質(zhì)的分子鍵發(fā)生斷裂而分解，而且紫外線具有很強(qiáng)的穿透能力，可透過物體的表層并深入達(dá)數(shù)微米而產(chǎn)生作用。

綜上所述，可知在線真空等離子清洗系統(tǒng)是利用等離子體內(nèi)的各種具有高能量的物質(zhì)的活化作用，將吸附在物體表面的污垢*剝離去除。