名稱

大型等離子清洗機

型號

TS-PL700MA

外形尺寸（W×D×H）

1400×650×800mm

反應腔尺寸（W×H×D）

2300×1250×1850mm

真空腔體材料

進口316L不銹鋼

真空泵

進口品牌、二級泵

（干泵+羅茨組合）

（油泵+羅茨組合）

角閥

Youch 超高真空60KF

流量控制儀及顯示儀

Sevenstar 0-800ml/min

真空顯示規(guī)管及讀取器

Pirani

射頻電源

美國進口品牌40KHZ 13.56MHZ

PLC系統(tǒng)

三菱（包括PLC，A/D模組兩組，D/A模組兩組，溫度模塊）

電器系統(tǒng)

施耐德

變頻器

西門子2KW

觸摸屏

中國臺灣威綸真彩10.7寸

陶瓷封裝

進口高頻陶瓷

處理氣體

O₂、Ar_2、N_2，H_2、CF₄