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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹
型號 | TS-PL60MA |
外形尺寸（WDH)mm | 1000*1030*1630 |
射頻電源 | 13.56MHz |
真空腔體 | 進(jìn)口316不銹鋼，級密封 |
腔體尺寸 | W400×H400×D450mm |
工作真空度 | 5-70Pa |
真空泵 | 油泵/干泵（選配） |
真空管路組件 | 全不銹鋼管路+波紋管 |
內(nèi)置水平式電極 | 380*380*15mm |
氣體流量監(jiān)測系統(tǒng) | 質(zhì)量流量控制器 0-500ML |
氣體通道 | 2路，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣，四氟化碳?/p> |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
等離子體處理儀是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
等離子體清洗儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
不分處理對象的基材類型，對金屬、半導(dǎo)體和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
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