真空室

二個D型真空室，尺寸均約為?450×H750mm;

兩個真空室的真空系統(tǒng)配置、極限壓力、恢復(fù)真空時間、熱阻蒸發(fā)舟及電源、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺的配置與技術(shù)參數(shù)指標(biāo)相同；

真空系統(tǒng)配置

日本進(jìn)口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復(fù)合數(shù)顯真空測量規(guī)與計(jì)、閥門等。

極限壓力

≤2.0×10-5Pa

恢復(fù)真空時間

40分鐘可達(dá)到1×10-4Pa

電動磁力耦合樣品傳遞裝置

真空室1

采用磁力耦合line motion傳遞裝置，采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，設(shè)有遠(yuǎn)程手控控制盒，可控制直線前進(jìn)后退。

有機(jī)蒸發(fā)源及電源

真空室1

新型0EL升華型蒸發(fā)源9支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃7支，室溫-1000℃2支；蒸發(fā)源電源4臺。

真空室2

新型0EL升華型蒸發(fā)源6支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃6支；蒸發(fā)源電源3臺。

熱阻蒸發(fā)舟及電源

新型蒸發(fā)舟2組（熱阻蒸發(fā)舟）；

數(shù)字式熱阻蒸發(fā)電源1臺，帶有細(xì)調(diào)功能（0.1安培）；鍍鋁盒式蒸發(fā)舟：2個；

普通金屬蒸發(fā)舟10個；蒸發(fā)源擋板2套；

膜厚監(jiān)測儀

厚度分辨率

不平均：0.0133埃/測量；50個樣品平均：0.002埃/測量

速率分辨率

不平均：0.0133埃/秒；50個樣品平均：0.02埃/秒

精度

0.03HZ/測量，2ppm

速度

每秒測量十次

真空室照明裝置

采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈

烘烤裝置

在真空室外烘烤帶的烘烤方式

樣品臺

樣品尺寸

可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片

運(yùn)動方式

可電動上下升降，可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為0-30轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速可調(diào)