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詳細介紹
詳情介紹：
樣品臺 | 尺寸 | 100mm |
到靶面距離 | 20~35mm高度可調 | |
等離子濺射靶 | 數量 | 2英寸x1 |
冷卻方式 | 自然冷卻 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 210mm |
觀察窗口 | 全向可視 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
上下蓋材質 | 304不銹鋼 | |
抽氣接口 | KF16 | |
進氣接口 | 1/4英寸卡套接頭 | |
電源配置 | 數量 | 直流電源x1 |
輸出功率 | *大150W | |
濺射電源 | 1200V | |
*大濺射電流 | 50mA | |
真空系統(tǒng) | 真空泵類型 | 雙極旋片真空泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
排氣接口 | KF16 | |
抽氣速率 | 1.1L/s（4m3/h） | |
極限真空度 | ≥0.1Pa | |
真空測量 | 電阻真空規(guī) | |
其他 | 供電電源 | AC 220V 50Hz |
整機功率 | 1.5kW | |
整機尺寸 | 500mm X 320mm X470mm | |
整機重量 | 30kg |
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