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詳細介紹
詳情介紹：
本型號換位自轉等離子鍍膜儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產生熱損傷。該小型換位自轉等離子鍍膜儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學習使用。換位自轉等離子鍍膜儀配備換位自轉式樣品臺，用戶可以在觸控屏上實現(xiàn)一鍵換位，樣品臺可在兩個靶位自由切換，到位后樣品臺還可進行自轉，以增強鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對膜厚進行監(jiān)測，以提高鍍膜的精準度。
本設備體積小巧造型美觀功能*，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
換位自轉等離子鍍膜儀技術參數(shù)：
| 項目 | 明細 |
| 產品型號 | CY-PSP180G-1TA-SWR |
| 樣品臺 | 直徑φ60mm， 可在兩個靶位間自動切換 |
| 直流濺射頭 | 2"x1 |
| 腔體材質 | 高純石英 |
| 腔體尺寸 | φ180mm X 150mm |
| 真空泵 | 旋片泵 |
| 極限真空 | 1.0E-1Pa |
| 真空接口 | KF16真空法蘭 |
| 進氣口 | φ6.35卡套接頭 |
| 供電電源 | AC 220V 50Hz |
| 整機功率 | 1.5KW/2KW（旋轉加熱） |
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