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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
本型號(hào)換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過(guò)程中無(wú)高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)，用戶(hù)可以在觸控屏上實(shí)現(xiàn)一鍵換位，樣品臺(tái)可在兩個(gè)靶位自由切換，到位后樣品臺(tái)還可進(jìn)行自轉(zhuǎn)，以增強(qiáng)鍍膜的均勻性。另外客戶(hù)可以選配晶振式膜厚儀對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以提高鍍膜的精準(zhǔn)度。
本設(shè)備體積小巧造型美觀功能*，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。
換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
| 項(xiàng)目 | 明細(xì) |
| 產(chǎn)品型號(hào) | CY-PSP180G-1TA-SWR |
| 樣品臺(tái) | 直徑φ60mm， 可在兩個(gè)靶位間自動(dòng)切換 |
| 直流濺射頭 | 2"x1 |
| 腔體材質(zhì) | 高純石英 |
| 腔體尺寸 | φ180mm X 150mm |
| 真空泵 | 旋片泵 |
| 極限真空 | 1.0E-1Pa |
| 真空接口 | KF16真空法蘭 |
| 進(jìn)氣口 | φ6.35卡套接頭 |
| 供電電源 | AC 220V 50Hz |
| 整機(jī)功率 | 1.5KW/2KW（旋轉(zhuǎn)加熱） |
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