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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設(shè)備//拋光液供酸設(shè)備設(shè)備功能1.提供拋光液和表面活性劑供應(yīng)緩存桶，從而保證設(shè)備工藝流量穩(wěn)定；2.提供溫度，PH值控制，以滿足拋光設(shè)備的工藝需求；3.滿足stock slurry循環(huán)使用需求；特點(diǎn)：1.所有Tank箱體采用SUS304框架+米黃PVC 保管，需配置排氣，排液，排漏以及漏液檢測(cè)報(bào)警
拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設(shè)備//拋光液供酸設(shè)備 設(shè)備功能 1.提供拋光液和表面活性劑供應(yīng)緩存桶，從而保證設(shè)備工藝流量穩(wěn)定； 2.提供溫度，PH值控制，以滿足拋光設(shè)備的工藝需求； 3.滿足stock slurry循環(huán)使用需求； 特點(diǎn)： 1.所有Tank箱體采用SUS304框架+米黃PVC 保管，需配置排氣，排液，排漏以及漏液檢測(cè)報(bào)警。 2.Tank材質(zhì)采用NPP或PVDF以上，管道使用PFA，選用材料對(duì)slurry無顆粒和金屬污染(包括Pump內(nèi)部與Slurry接觸部分)； 3.Stock slurry tank配置chiller(ORION CHILLER)和heater， 4.Tank內(nèi)的 Slurry 以及Surfactant處于常時(shí)循環(huán)狀態(tài)， 供應(yīng)設(shè)備管路末端有壓力表； 5.為檢測(cè)Tank內(nèi) Slurry 以及Surfactant的容量(Level)， 配置***個(gè)**液位傳感器； 6.所有Tank配置水槍，同時(shí)slurry桶上部能開啟，以方便沖洗Tank。 7.所有的 Tank內(nèi)要配置溫度和PH sensor，同時(shí)需要將數(shù)據(jù)同步傳送給設(shè)備主機(jī)； 8.Tank使用控制面板進(jìn)行顯示和操作控制。 供液泵使用磁力泵或磁浮泵，滿足現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際揚(yáng)程，流量等能力需求。 9. 每個(gè)tank外部供應(yīng)管路配置有自動(dòng)配送閥并由設(shè)備自我控制。 拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設(shè)備//拋光液供酸設(shè)備可以關(guān)注南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,
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