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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2025-02-13 08:11:20瀏覽次數(shù)：198次
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兆聲波清洗機(jī)—華林科納 Megasoniccleaningmachine南通華林科納-兆聲波清洗機(jī) 適用于硅晶片藍(lán)寶石晶片砷化鎵晶片 磷化銦晶片碳化硅晶片石英晶片可處理晶片尺寸2'-8'
兆聲波清洗機(jī)—華林科納 Mega sonic cleaning machine 南通華林科納-兆聲波清洗機(jī) 適用于硅晶片 藍(lán)寶石晶片 砷化鎵晶片 磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片 可處理晶片尺寸2'-8'； 可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等； 主要應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體 太陽能光伏 液晶等 設(shè)備名稱 -兆聲波清洗機(jī) 類型 槽式 尺寸(參考) 約3500（L）×1350 (W)×2300mm (H) 清洗件規(guī)格 4" 2籃50片 設(shè)備凈重 1T 運(yùn)行重量 1.5T±10% 電源 380v 50hz 功率 70kw 槽體尺寸 200mm*400mm*260mm 槽數(shù) 6個(gè) 操作方式 手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng) 適用規(guī)格 2英寸-8英寸 適用領(lǐng)域 半導(dǎo)體、太陽能、液晶等 設(shè)備穩(wěn)定性 1、清洗良品率≥99% 2、≥0.2um顆粒少于10顆 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 1 設(shè)備機(jī)架采用不銹鋼骨架外包PP板，耐酸堿腐蝕； 2 電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)隔離； 3 槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料； 4 機(jī)械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理； 5 設(shè)備排風(fēng)采用頂部百級(jí)FFU送新風(fēng)，臺(tái)面下抽風(fēng)，每套工藝清洗槽都有自動(dòng)開閉的槽蓋，槽蓋下有單獨(dú)的抽風(fēng)裝置，排風(fēng)口處設(shè)有自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)門，即上電打開風(fēng)門，斷電關(guān)閉風(fēng)門，具有風(fēng)壓檢測(cè)功能，以及氮?dú)?、壓縮空氣壓力報(bào)警功能； 6 溶液槽中藥液自動(dòng)供液按設(shè)定好比例混合，并可在工作過程中根據(jù)設(shè)定補(bǔ)液；客戶根據(jù)自身工藝條件自行設(shè)定； 7 臺(tái)面為多孔結(jié)構(gòu)，便于臺(tái)面上沖洗水、液的排出； 8 操作面設(shè)有透明PVC安全門； 9 設(shè)備設(shè)有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時(shí)等保護(hù)和報(bào)警裝置，保證設(shè)備的安全可靠； 10 配備有進(jìn)口PFA，水、各一。 半導(dǎo)體兆聲清洗機(jī)設(shè)備（最終清洗機(jī)設(shè)備），，可立即免費(fèi)獲取集成電路濕法處理設(shè)備
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