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美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 40

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更新時(shí)間：2021-10-06 19:12:47瀏覽次數(shù)：434次

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經(jīng)營(yíng)模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：137條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：朱珠 （銷(xiāo)售助理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 40, 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射.KRI 射頻離子源 RFICP 40 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: 100 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量 (Typical flow): 3-10 sccm.采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).......

詳細(xì)介紹

美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 40 產(chǎn)品特性：

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 40 特性:

1. 離子源放電腔 Discharge Chamber, 無(wú)需電離燈絲, 通過(guò)射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).

2. 離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì), 使用更簡(jiǎn)單; 基座可調(diào)節(jié), 有效優(yōu)化蝕刻率和均勻性.

3. 提供聚焦, 發(fā)散, 平行的離子束

4. 離子源自動(dòng)調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運(yùn)行

5. 柵極材質(zhì)鉬和石墨,堅(jiān)固耐用

6. 離子源中和器 Neutralizer, 測(cè)量和控制電子發(fā)射,確保電荷中性

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