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伯東企業(yè)（上海）有限公司
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更新時間：2021-10-06 17:06:59瀏覽次數(shù)：519次
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上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 220, 大面積高能量柵網(wǎng)離子源.離子束流: 800 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 壓力: 0.5m Torr離子束可聚焦, 平行, 散射.采用射頻技術產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.......
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數(shù):
離子源型號 | RFICP 220 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >800 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 20 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 10-40 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 30 cm |
直徑 | 41 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
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