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美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 100

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更新時(shí)間：2021-10-06 19:11:11瀏覽次數(shù)：403次

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

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上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 100, 離子束可選聚焦, 平行, 散射.KRI 射頻離子源屬于大面積射頻離子源 (柵網(wǎng)離子源), 離子束流: 350 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量(Typical flow):5-30 sccm采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).......

詳細(xì)介紹

美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術(shù)參數(shù)：

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)	RFICP 100
Discharge	RFICP 射頻
離子束流	>350 mA
離子動(dòng)能	100-1200 V
柵極直徑	10 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	5-30 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長(zhǎng)度	23.5 cm
直徑	19.1 cm
中和器	LFN 2000