B.7.3   氣流方向檢測(cè)和目檢方法

B.7.3.1  示蹤線法

 該檢測(cè)是觀察如絲線、單根尼龍細(xì)線、旗子或薄帶子。把上述物品放置在支撐桿的端頭或裝在氣流中細(xì)金屬絲格柵的交叉點(diǎn)上，就可以直接觀查出氣流的方向和因干擾引起的波動(dòng)。有效的照明有助于觀察和記錄顯現(xiàn)的氣流狀況。測(cè)量?jī)牲c(diǎn)之間（例如2 m ~ 0.5 m）的氣流偏移來(lái)計(jì)算偏移角

B.7.3.2  示蹤劑注入法

 該檢測(cè)是對(duì)高強(qiáng)度光源照亮的示蹤粒子的特性進(jìn)行觀察或制成圖像，作為潔凈室設(shè)施內(nèi)氣流的方向性和均勻性的資料?？梢杂萌ルx子（DI）水、噴射或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等材料生成示蹤粒子。要仔細(xì)選用適當(dāng)?shù)牟牧?，以免污染表面?選用液滴生成法時(shí)，要考慮小滴的粒徑。小滴要大得圖像處理技術(shù)能檢測(cè)出來(lái)，但又不能過(guò)大而在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生重力或其它效應(yīng)，并偏離被觀測(cè)的氣流。

 B.7.3.3  用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目檢法

 用B.7.3.2的方法將記錄在攝像機(jī)或膠片上的粒子圖像資料經(jīng)過(guò)處理后，即可用區(qū)域內(nèi)二維氣流速度矢量昭示氣流的量化特性。該處理技術(shù)需用配有適當(dāng)接口和軟件的數(shù)字計(jì)算機(jī)。用激光光源等裝置可以得到較大的空間分辨率。

 B.7.3.4  通過(guò)測(cè)量速度分布進(jìn)行氣流目檢的方法  可以在被勘查的潔凈室設(shè)施內(nèi)的幾個(gè)規(guī)定的點(diǎn)上設(shè)置風(fēng)速測(cè)量?jī)x，如熱風(fēng)速計(jì)或超聲風(fēng)速計(jì)，以測(cè)定氣流速度的分布。對(duì)測(cè)出的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，就可得出氣流分布的資料。

 B.7.4    氣流方向檢測(cè)和目檢用儀器

  每種檢測(cè)方法使用不同的氣流方向檢測(cè)、目檢的儀器。C.7中給出了每種檢測(cè)方法適用的儀器。

B.7.5    檢測(cè)報(bào)告   按照客戶和建造商的協(xié)議，應(yīng)該按本文件第5條的說(shuō)明記錄下述資料和數(shù)據(jù)：  a) 檢測(cè)類型、目檢方法和檢測(cè)條件； b) 所用測(cè)量?jī)x器的型號(hào)及其校準(zhǔn)狀況； c) 目檢點(diǎn)的位置；  d) 如要求的話，采用圖像處理技術(shù)或有速度分布測(cè)量時(shí)，記錄在照片或錄像帶上的各次測(cè)量圖像或原始數(shù)據(jù)；  e) 氣流目檢報(bào)告應(yīng)附有標(biāo)明了所有儀器確切位置的平面圖； f) 占用狀態(tài)。