B.7.3   氣流方向檢測和目檢方法

B.7.3.1  示蹤線法

 該檢測是觀察如絲線、單根尼龍細線、旗子或薄帶子。把上述物品放置在支撐桿的端頭或裝在氣流中細金屬絲格柵的交叉點上，就可以直接觀查出氣流的方向和因干擾引起的波動。有效的照明有助于觀察和記錄顯現的氣流狀況。測量兩點之間（例如2 m ~ 0.5 m）的氣流偏移來計算偏移角

B.7.3.2  示蹤劑注入法

 該檢測是對高強度光源照亮的示蹤粒子的特性進行觀察或制成圖像，作為潔凈室設施內氣流的方向性和均勻性的資料?？梢杂萌ルx子（DI）水、噴射或化學法生成的乙醇/正二醇等材料生成示蹤粒子。要仔細選用適當的材料，以免污染表面。 選用液滴生成法時，要考慮小滴的粒徑。小滴要大得圖像處理技術能檢測出來，但又不能過大而在運動過程中產生重力或其它效應，并偏離被觀測的氣流。

 B.7.3.3  用圖像處理技術進行氣流目檢法

 用B.7.3.2的方法將記錄在攝像機或膠片上的粒子圖像資料經過處理后，即可用區(qū)域內二維氣流速度矢量昭示氣流的量化特性。該處理技術需用配有適當接口和軟件的數字計算機。用激光光源等裝置可以得到較大的空間分辨率。

 B.7.3.4  通過測量速度分布進行氣流目檢的方法  可以在被勘查的潔凈室設施內的幾個規(guī)定的點上設置風速測量儀，如熱風速計或超聲風速計，以測定氣流速度的分布。對測出的數據進行處理，就可得出氣流分布的資料。

 B.7.4    氣流方向檢測和目檢用儀器

  每種檢測方法使用不同的氣流方向檢測、目檢的儀器。C.7中給出了每種檢測方法適用的儀器。

B.7.5    檢測報告   按照客戶和建造商的協(xié)議，應該按本文件第5條的說明記錄下述資料和數據：  a) 檢測類型、目檢方法和檢測條件； b) 所用測量儀器的型號及其校準狀況； c) 目檢點的位置；  d) 如要求的話，采用圖像處理技術或有速度分布測量時，記錄在照片或錄像帶上的各次測量圖像或原始數據；  e) 氣流目檢報告應附有標明了所有儀器確切位置的平面圖； f) 占用狀態(tài)。