檢測X-ray 范圍

波長范圍WDS: 0.087 to 9.3 nm

能量范圍EDS: 20 keV

譜儀數

WDS: 最多5個可選,  EDS: 1個

樣品尺寸

100 mm × 100 mm × 50 mm (H)

加速電壓

1 to 30 kV (0.1 kV steps)

探針電流范圍

1 pA to 3 μA

探針電流穩(wěn)定性

± 0.3％ / h, ± 1.0％ /12 h^＊2

二次電子像分辨率（觀察模式）

2.5 nm

二次電子像分辨率（分析模式下）

20 nm（ 10 kV, 10 nA）

50 nm（ 10 kV, 100 nA）

掃描放大倍率

×40 to 300,000 (W.D. 11 mm)

掃描圖像分辨率

Maxium 5,120 × 3,840