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詳細(xì)介紹
TwisTorr 84 FS
TwisTorr 84 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 技術(shù)對(duì)小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng)，并能保證的軸承工作條件，從而能延長(zhǎng)工作壽命，減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性。TwisTorr 84 FS 泵的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)，使得泵無(wú)需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
特性
- 創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對(duì)小分子氣體能提供高壓縮比，而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和最小的系統(tǒng)占用空間。
- 高前級(jí)耐壓 — 允許使用更小的前級(jí)泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
- 安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng)，低噪音，的軸承工作條件，延長(zhǎng)泵的使用壽命，實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化，減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
- 的軸承和干式潤(rùn)滑劑 — 免維護(hù)、免油，實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
- 銅制水冷通道（可選） — 可避免腐蝕，優(yōu)化熱傳遞性能，降低用水量和使用維護(hù)成本。
性能指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo)
| 抽速 | KF 40 | CFF 2.75 英寸 | ISO 63，CFF 4.5 英寸 | |
| 氬氣 | 44 L/s | 57 L/s | 66 L/s | |
| 氮?dú)?/span> | 49 L/s | 56 L/s | 67 L/s | |
| He | 38 L/s | 46 L/s | 63 L/s | |
| 氫氣 | 36 L/s | 40 L/s | 53 L/s | |
| 全轉(zhuǎn)速氣體流量（與推薦前級(jí)泵一起使用） | 風(fēng)冷（25 ℃） | 水冷（25 ℃，65 L/h） | ||
| 氮?dú)?/span> | 100 sccm | 100 sccm | ||
| 氬氣 | 70 sccm | 70 sccm | ||
| 壓縮比與前級(jí)耐壓 | 壓縮比 | 前級(jí)耐壓 | ||
| 氬氣 | > 1.0 x 1011 | 大于 14 mbar | ||
| 氮?dú)?/span> | ≥ 1.0 x 1011 | 大于 14 mbar | ||
| He | 2.0 x 106 | 大于 12 mbar | ||
| 氫氣 | 5.0 x 104 | 大于 4 mbar | ||
| 采用推薦前級(jí)泵的極限真空 (5 m3/h) | 小于 8.0 × 10-10 mbar（小于 6.0 × 10-10 Torr） | |||
| 抽氣口法蘭 | CFF 4.5 英寸，ISO 63 | |||
| CFF 2.75 英寸，KF 40 | ||||
| 前級(jí)管道法蘭 | KF16 | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 81000 rpm（1350 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率） | |||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 小于 2 分鐘 | |||
| 推薦的前級(jí)泵 | 機(jī)械： | Agilent DS-42/102 | ||
| 干式泵： | Agilent SH-110/IDP-3 | |||
| 工作位置 | 任意 | |||
| 操作環(huán)境溫度 | 5 ℃ 至 35 ℃ | |||
| 空氣的相對(duì)濕度 | 0 至 90%（非凝縮） | |||
| 烘烤溫度 | 進(jìn)樣口法蘭溫度 80 ℃（ISO 法蘭） | |||
| 進(jìn)樣口法蘭溫度 120 °C（CFF 法蘭） | ||||
| 潤(rùn)滑油 | 持久潤(rùn)滑 | |||
| 冷卻要求 | 氣流溫度：（環(huán)境溫度為 5 至 35 ℃） | |||
| 水（如果環(huán)境高于 35 ℃，需強(qiáng)制水冷） | ||||
| 水溫： | 15 ℃ 至 25 ℃ | |||
| 最小流量： | 65 L/h (0.30 GPM) | |||
| 柱壓： | 2 至 4 bar（45 至 75 psi） | |||
| 噪聲聲壓級(jí) | 1 米內(nèi)全轉(zhuǎn)速時(shí)，小于 40 dB(A) | |||
| 儲(chǔ)存溫度 | -40 ℃ 至 70 ℃ | |||
| 高度： | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅） | 泵用 ISO 63 法蘭 | 2.05 kg | ||
| | 泵用 CFF 4.5 英寸 | 3.50 kg | ||
| | 泵用 CFF 2.75 英寸 | 3.34 kg | ||
| | 泵用 KF 40 英寸 | 2.37 kg | ||
| 符合規(guī)范 | EMC | 61326-1 | ||
| | 安全 (CE/CSA) 法規(guī) | DIR 2006/42/CE | ||
| | ROHS | DIR 2011/65/EU | ||
抽速曲線圖
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